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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品簡介

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù),適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。

產(chǎn)品型號:PZ-Mico D
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù),適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量技術參數(shù):

型號:PZ-Mico D

測試技術: 3D相干掃描干涉法,抗震算法,移相干涉法

光源:固態(tài)白光光源,軟件控制切換光譜(VSI和PSI)

掃描裝置:精密壓電陶瓷驅(qū)動,閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率:1280X1024

視場:  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍:25mm

橫向分辨率:0.05-2.68µm

軸向分辨率:VSI:0.5nmPSI:0.1nm

臺階高度精度(示值誤差)±0.1nm(5µm標準臺階)

臺階高度重復性:0 . 1%1σ(5µm標準臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復性:0.01nm

被測樣品反射率:0.05%-100%

Z軸:電動Z平臺100mm,1μm分辨率)

位移臺:電控平臺移動范圍XY:100x100mm


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品細節(jié)

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

應用范圍



納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量





 

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